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鈦泵檢漏儀工作原理

2022-04-11 10:27:17 瀏覽次數(shù):



傳統(tǒng)的鈦泵電源只用于去除密封裝置中的殘留空氣,不需要穩(wěn)壓輸出。因此,輸出電壓隨著電網(wǎng)的波動和負(fù)載電流的大小而波動。鈦泵電源作為一種特殊的泄漏檢測,要求穩(wěn)壓輸出,才能判斷輸出電流增量是微泄漏的電流增量,從而找到泄漏位置。由于鈦泵電源的特點(diǎn)是輸出高電壓、小電流(甚至無電流)。因此,我們選擇了開關(guān)電源的技術(shù)方案,一般開關(guān)電源不允許空載(即在微電流下不能工作),但鈦泵泄漏檢測儀的工作是一般開關(guān)電源的禁區(qū)。為了解決這個(gè)問題,我們采取了一些措施,使開關(guān)電源在完全空載的情況下不會損壞。電流采樣的技術(shù)方案是將電流增量轉(zhuǎn)化為電壓增量,簡化整體電路設(shè)計(jì)。計(jì)算放大器和輸出信號的零位調(diào)整是鈦泵泄漏檢測儀能否達(dá)到效果的關(guān)鍵問題,尤其是輸出信號的零位調(diào)整。在電流采樣中,已經(jīng)提到將電流信號轉(zhuǎn)換為電壓信號。


因此,電壓放大器可以用于計(jì)算放大器。目前,有許多高穩(wěn)定性和低漂移的計(jì)算放大器,這并不難解決。關(guān)鍵是零,至關(guān)重要。原因有兩個(gè)。首先,在不同的測量范圍內(nèi),計(jì)算放大器的放大倍數(shù)是不同的。無論放大多好,輸出信號在不同的閉環(huán)放大倍數(shù)下總會有所不同;二是負(fù)載(指鈦泵)本身,由于導(dǎo)線絕緣性能差,會造成一定數(shù)量的漏電流。這種漏電流往往大于實(shí)際顯示真空裝置中的壓力電流。因此,在鈦泵泄漏檢測儀的電路設(shè)計(jì)中,要考慮減少這部分無用的漏電流,以達(dá)到高靈敏度顯示的目的。因此,我們通過調(diào)整零來解決漏電流的影響。負(fù)載(鈦泵)電流指示由于計(jì)算放大器的輸出信號是電壓,因此我們將輸出的電壓轉(zhuǎn)換為電流顯示。

以下簡要介紹了鈦泵泄漏檢測的工作原理。基于鈦泵對泄漏氣體泵送速度的選擇性。當(dāng)真空密封裝置有輕微泄漏時(shí),鈦泵的泵送量等于泄漏量,形成一定的平衡壓力。平衡壓力類型如下:Pt=P1+1/V[FQL+(Qidt)](1)在真空密封裝置中,假設(shè)QL≤(Pt-P1)V/t(2)離開裝置的時(shí)間;P1離開前排氣系統(tǒng)的*限壓力;QL一個(gè)裝置的實(shí)際泄漏;Qi一個(gè)裝置的泄漏;V一個(gè)裝置的體積。


鈦泵主要依靠化學(xué)吸附排除活性氣體O2.H2.CO2等氣體,降低密封裝置內(nèi)的壓力,降低鈦泵的放電電流,消除惰性氣體He.Ar等氣體主要依靠物理吸附,使鈦泵的放電電流較大。可以看出,當(dāng)鈦泵的放電電流與平衡壓力成正比時(shí),通過漏孔進(jìn)入鈦泵時(shí),泵電流會發(fā)生變化。根據(jù)這一變化,可以檢測到真空密封裝置的漏孔。


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